プラズマクリーナーとは、ドライ洗浄のプラズマ技術で環境を守り、半導体や電子デバイス製造工程のアッシングやエッチングを行う装置です。レンズや医療処置器具、チューブから粉体洗浄、表面改質による印刷といったさまざまな用途に用いられているのが特徴となっています。プラズマクリーナーは特に昨今重要性がさらに増してきており、技術発展による微細化が進んでいる半導体を製造するうえで欠かせない装置となりました。半導体はナノ単位の集合体であり、現在日進月歩で進歩している技術のひとつとなっており、高性能なスマートフォンやパソコンの心臓部です。

それにともなって、プラズマクリーナー装置もアップデートが繰り返されてきています。生産性や品質を大幅に向上させることを目的とするプラズマクリーナーは、電子材料やドライ洗浄の分野であらゆる工場現場で重宝されています。レジスト剥離や残渣除去、表面改質などをおこない、ICパッケージの組み立て工程での除去作業に特に用いられているのが特徴です。プラズマ処理には主に2つの種類が用いられており、アルゴンガスなどを利用した処理方法と、主に酸素ガスなどを利用した処理方法に分かれています。

どちらもそれぞれ得意な分野がありますが、無機物および有機物どちらにも対応しているアルゴンガスなどを利用したRIEモードが使用されています。プラズマクリーナーの大きさも多様で、卓上に置けるものから工場などに設置される大型ものまであります。

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