プラズマクリーナーとも呼ばれるプラズマ洗浄装置とは、プラズマを用いて、製造業で作られる基板等の表面を洗浄する装置のことをいいます。水や溶剤を用いることなく、塵一つない状態に至るまでクリーニングできるのが大きな特徴です。洗剤を使用しないので洗剤成分が残留することがなく、また水を使用しないので水濡れを避けたい半導体や金属の洗浄にも非常に適しています。機械油のたぐいは水による洗浄ではなかなか油分を完全に落とすことは不可能であり、溶剤や洗剤を使えば水洗浄と乾燥のプロセスが必要となり、手間やコストがかかってしまうものです。

その点、このプラズマを用いた洗浄方法は時間やコストの点からも非常に優れていると言えます。プラズマ洗浄装置で洗浄に使用するプラズマは、エネルギー準位が高く、表面を剥ぎ取るような感じで、表面に付着した油分や化学物質などの汚れを超微細なレベルで完全に取り除きます。このことからも塗装やメッキなどの前処理に非常に適していることがおわかりいただけると思います。これらの処理をする場合は表面に油分が残留していると弾かれてしまうので、プラズマ洗浄によって金属の地肌が見えるほど表面が綺麗になった状態であれば、仕上げも良好になります。

さらに、環境にも優しいのが嬉しいメリットです。粒子のレベルで分離させるので、排水が全く出ません。こうした利点を生かして、プラズマ洗浄装置の仕組みを組み込んだ野菜洗浄機なども販売されています。プラズマ洗浄装置のことならこちら

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