プラズマを発生させて汚れの除去を行うプラズマクリーナーは、水や洗剤、溶剤を使わないドライ洗浄の一種です。発生させるプラズマにもよりますが、プラズマクリーナーは汚染物の除去を始めとして、表面を改質したり、いわゆる濡れ性や接着性を高めることが可能です。中には減菌作用に期待できるプラズマクリーナーもありますし、加工における酸化用途にも活用することができます。このように、様々な作用を併せ持つわけですが、一般的にはやはり洗浄目的に広く利用されています。

名前にクリーナーとつくくらいですから、性能は期待通りですし、優れた洗浄作用を発揮するので僅かなホコリや塵も許されない、半導体分野でもなくてはならないです。プラズマクリーナーの洗浄力は、対象物の表面にある汚染物を限りなく100%に近い形で除去できるほどです。イメージ的には薄皮を剥くような感じで、対象物を研磨していきますから、ムラになったり汚れを残すことがないのも納得です。水を使わないので乾燥工程は不要ですし、洗剤のようにすすぎの工程も要らないので、非常に効率的で経済性も優れます。

消耗品が発生しにくいこと、環境負荷が小さいこともプラズマクリーナーの強みで、非常にメリットが多いことが分かります。洗剤や溶剤を使っても落としきれない油汚れ、油膜も落とせますし、分子レベルで汚れを剥ぎ取ることができますから、改めて洗浄力が強力で他に代替方法がないのも頷けます。

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